099_092-047AP-TW
發佈日期 :
2009-04-30
| I257914 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 微流體控制器及其製造方法(全文下載) | |||||||||||||||||||||||||||||
| 2006/07/11 | |||||||||||||||||||||||||||||
| I257914 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 2004/03/01 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 093105298 | |||||||||||||||||||||||||||||
| B81B-007/02;B81C-001/00;F04F-011/00 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 33-20 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 惲軼群;陳文郎 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 一種微流體控制器包含：一基座、一中空地形成於該基座內的微通道單元及一位於微通道單元旁之電極單元。微通道單元包括相互連通之一進料通道及一控制通道， 該進料通道具有分別由該基座之兩相對側面向內延伸之一第一段部與一第二段部，該控制通道之一端連通該進料通道之第一、二段部內端並延伸至該基座之另一側 面。該電極單元具有二分別位於該微通道單元之控制通道兩側之電極，藉由供給該等電極之電壓以改變該控制通道內微流體之電滲透流場以混合分別由第一、二段部 進入控制通道中之數種微流體，並由控制通道中排出。 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 1.一種微流體控制器,該微流體控制器包含: 一基座,具有一頂面、一底面及銜接於該頂、底面間之一第一側面、一第二側面與一第三側面; 一 微通道單元,中空地形成於該基座內,並包括相互連通之一進料通道及一控制通道,該進料通道具有一由該基座之第一側面向內延伸之第一段部,及一由該基座之第 三側面向內延伸並連通至該控制通道與該第一段部連通處之第二段部,且該第一段部於該第一側面上形成一供微流體流入之第一進口端,該第二段部於該第三側面上 形成一供微流體流入之第二進口端,該控制通道之一端連通該進料通道之第一、二段部內端並延伸至該基座之第二側面且於該第二側面上形成一供微流體流出之出口 端;及 一電極單元,具有二分別位於該微通道單元之控制通道兩側之電極,藉由供給該等電極之電壓以改變該控制通道內之微流體電滲透流場。 2.依據申請專利範圍第1項所述之微流體控制器,其中,該控制通道具有依序銜接之一控制段部及一混合段部,而該等電極就是位於該控制段部兩側,由第一、二段部進入之微流體經該控制段部驅動流經該混合段部混合後流至該出口端。 3.依據申請專利範圍第1項所述之微流體控制器,其中,該第一段部之內周面上具有一貫穿至該基座之頂面上的第一進料孔。 4.依據申請專利範圍第1項或第2項所述之微流體控制器,其中,該第一、二段部之內周面上分別具有貫穿至該基座頂面上的一第一進料孔及第二進料孔。 5.依據申請專利範圍第1項所述之微流體控制器,其中,該電極單元更具有二分別由該等電極外側延伸至該基座外的導電片。 6.一種微流體控制器的製造方法,其製造方法包含以下步驟: (A)於一基板之頂面上蝕刻出由該基座之一側面相互銜接延伸至另一側面的一進料通道與一控制通道,及二分別位於該控制通道兩側的凹槽; (B)沉積金屬於該基板之二凹槽內,形成二電極; (C)將一上板覆蓋固定於該基板上方,封閉該進料通道、該控制通道,及該等電極之頂面。 7.依據申請專利範圍第6項所述之微流體控制器的製造方法,其中,該步驟(B)中於沉積金屬形成該等電極的同時,亦分別由該等電極外側沉積金屬至該基板外側,形成二導電片。 8.依據申請專利範圍第7項所述之微流體控制器的製造方法,其中,該步驟(B)中是先沉積金屬於該基板之頂面上形成一金屬層,再以蝕刻的方式將該等凹槽內及該等凹槽兩側以外之金屬層去除。 9.依據申請專利範圍第6項所述之微流體控制器的製造方法,其中,該步驟(C)於該上板蓋覆於該基板頂面前,先於該上板頂面上相對於該進料通道之外端上方鑽出貫穿其頂、底面之一進料孔。 10.依據申請專利範圍第6項所述之微流體控制器的製造方法,其中,該步驟(C)於該上板蓋覆於該基板頂面前,先於該上板相對於該進料通道與孔至通道外端上方分別鑽出貫穿其頂、底面之二進料孔。 圖式簡單說明: 圖1是本發明微流體控制器之較佳實施例之一立體組合圖; 圖2該較佳實施例之一立體分解圖; 圖3該較佳實施例與一可程式電源供應器及複數微管道的組裝示意圖; 圖4是該較佳實施例於二電極施加電壓變化時,一微通道單元內之微流體變化之照片,其中第0至3秒是該等照片上側之電極施加電壓之照片,第4至6秒該電極斷電時之照片;及 圖5~8是本發明之微流體控制器之製造過程示意圖。 |
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| 專利權異動 |
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| 申請案件狀態 |
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