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發佈日期 :
2009-04-30
| 260760 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 正型光阻組成物(全文下載) | |||||||||||||||||||||||||||||
| 1995/10/21 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 074170 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 1994/06/28 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 083105845 | |||||||||||||||||||||||||||||
| G03F-007/39 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 22-30 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 洪澄文 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 本發明提供一種新穎的正型光阻組成物，其包括一不溶於水但可溶於鹼性水溶液，或可在鹼性水溶液中膨脹的樹脂性結合劑，以及至少一種-1,2-二疊氦磺酸 酯，其由一種-1,2-疊氦磺酸鹵化物和一多羥基化合物經酯化而得，其中該多羥基化合物為3,4-二甲基-2,6-二羥甲基酚或2,3,5-三甲基 -4,6-二羥甲基酚與甲苯-2,4-二異氰酸酯或甲苯 -2,6-二異氰酸酯反應所得的產物。 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 1.一種正型光阻組成物,包括: (a)一不溶於水,但可溶於鹼性水溶液,或可在鹼性水溶 液中膨脹的酚醛樹脂結合劑;以及 (b)至少一種-1,2-二疊氮磺酸酯,其由一種-1,2-二 疊氮磺酸鹵化物和一多羥基化合物經酯化而得, 其中該多羥基化合物為下列化合物之反應產物: 擇自3,4-二甲基-2,6-二羥甲基酚和2,3,5-三甲基-4,6-二 羥甲基酚所組成族群中之化合物,和 @qf擇自甲苯-2,4-二異氰酸酯和甲苯@nl@qj-2,6-二異氰 酸酯所組成族群中之化合物; 其中成份(b)-1,2-二疊氮磺酸酯之用量為成份(a)酚醛 樹脂結合劑之1-20重量百分比。 2.如申請專利範圍第1項所述之正型光阻組成物,其中該 -1,2-二疊氮磺酸鹵化物為擇自 -1,2-二疊氮-4-磺 醯氯和 -1,2-二疊氮-5-磺醯氯所組成之族群中。 3.如申請專利範圍第1項所述之正型光阻組成物,更包括 色素、增感劑或溶劑。 圖示簡單說明: 第1圖為本發明實施例7所得之光敏化合物以366nm紫外光 曝光前後之UV光譜圖,(a)表曝光前,(b)表曝光後。 第2圖為本發明實施例8所得之光敏化合物在以366nm紫外 光照射期間之GPC圖。 第3圖為本發明實施例15所得光阻組成物與習知光阻組成 |
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| 專利權異動 |
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| 申請案件狀態 |
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